PVD আবরণের জন্য Gr1 Gr2 Gr5 TiAl খাদ টাইটানিয়াম স্পুটারিং লক্ষ্য

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl টাইটানিয়াম খাদ PVD লেপ জন্য টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্য

​

1. লক্ষ্য উপাদান

লক্ষ্য উপাদান হল উচ্চ গতির চার্জযুক্ত কণার দ্বারা বোমাবাজি করা লক্ষ্য উপাদান। ধাতু, খাদ, অক্সাইড ইত্যাদি রয়েছে। বিভিন্ন লক্ষ্য উপাদান (যেমন অ্যালুমিনিয়াম, তামা,স্টেইনলেস স্টীল, টাইটানিয়াম, নিকেল লক্ষ্য, ইত্যাদি), আপনি বিভিন্ন ফিল্ম সিস্টেম (যেমন সুপার-কঠিন, পরিধান প্রতিরোধী, অ্যান্টি-জারা খাদ ফিল্ম, ইত্যাদি) পেতে পারেন।

(1) ধাতু লক্ষ্যমাত্রাঃ নিকেল লক্ষ্যমাত্রা, নি, টাইটানিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, টিআই, দস্তা লক্ষ্যমাত্রা, Zn, ক্রোম লক্ষ্যমাত্রা, Cr, ম্যাগনেসিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, এমজি, নিওবিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, এনবি, টিন লক্ষ্যমাত্রা, Sn, অ্যালুমিনিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, আল, ইন্ডিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, ইন,আয়রন লক্ষ্য, Fe, জিরকোনিয়াম অ্যালুমিনিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, ZrAl, টাইটানিয়াম অ্যালুমিনিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, TiAl, জিরকোনিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, Zr, অ্যালুমিনিয়াম সিলিকন লক্ষ্যমাত্রা, AlSi, সিলিকন লক্ষ্যমাত্রা, Si, তামা লক্ষ্যমাত্রা Cu, ট্যান্টালিয়াম লক্ষ্যমাত্রা T, a,জার্মানিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, জিই, সিলভার টার্গেট, এজি, কোবাল্ট টার্গেট, কো, সোনার টার্গেট, আউ, গ্যাডোলিনিয়াম টার্গেট, জিডি, ল্যানথানাম টার্গেট, লা, ইট্রিয়াম টার্গেট, ওয়াই, সেরিয়াম টার্গেট, সিই, টংস্টেন টার্গেট, ডাব্লু, স্টেইনলেস স্টীল টার্গেট,নিকেল-ক্রোমিয়াম লক্ষ্যমাত্রা, NiCr, hafnium Target, Hf, molybdenum target, Mo, আয়রন-নিকেল টার্গেট, FeNi, টংস্টেন টার্গেট, W ইত্যাদি

(2) সিরামিক লক্ষ্যমাত্রাঃ আইটিও লক্ষ্যমাত্রা, ম্যাগনেসিয়াম অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, আয়রন অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, সিলিকন নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, সিলিকন কার্বাইড লক্ষ্যমাত্রা, টাইটানিয়াম নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, ক্রোমিয়াম অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, দস্তা অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা,জিংক সালফাইড লক্ষ্যমাত্রা, সিলিকন ডাই অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, এক সিলিকন অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, সেরিয়াম অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, জিরকনিয়াম ডাই অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, নিওবিয়াম পেন্টোক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, টাইটানিয়াম ডাই অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, জিরকনিয়াম ডাই অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, হাফনিয়াম ডাই অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা,টাইটানিয়াম ডিবোরাইড লক্ষ্য, জিরকনিয়াম ডাইবোরিড লক্ষ্যমাত্রা, টংস্টেন ট্রাইঅক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, ট্যান্টালিয়াম অক্সাইড, নিওবিয়াম পেন্টোক্সাইড লক্ষ্যমাত্রা, ম্যাগনেসিয়াম ফ্লোরাইড লক্ষ্যমাত্রা, ইট্রিয়াম ফ্লোরাইড লক্ষ্যমাত্রা, জিংক সেলেনাইড লক্ষ্যমাত্রা,অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, সিলিকন নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, বোরন নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, টাইটানিয়াম নাইট্রাইড লক্ষ্যমাত্রা, সিলিকন কার্বাইড লক্ষ্যমাত্রা, লিথিয়াম নিওবেট লক্ষ্যমাত্রা, প্রসেডিয়ামিয়াম টাইটান্যাট লক্ষ্যমাত্রা, ব্যারিয়াম টাইটান্যাট লক্ষ্যমাত্রা,ল্যানথানিয়াম টাইটান্যাট টার্গেট, নিকেল অক্সাইড টার্গেট, স্পটারিং টার্গেট ইত্যাদি

2. লক্ষ্যমাত্রার প্রধান পারফরম্যান্স প্রয়োজনীয়তা

(1) বিশুদ্ধতা

বিশুদ্ধতা হল লক্ষ্যমাত্রার প্রধান কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি, কারণ লক্ষ্যমাত্রার বিশুদ্ধতা ফিল্মের কর্মক্ষমতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে।লক্ষ্য উপাদানগুলির বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তাও ভিন্নউদাহরণস্বরূপ, মাইক্রো ইলেকট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে সাথে সিলিকন ওয়েফারের আকার 6 "থেকে 8" থেকে 12 "এ বৃদ্ধি পেয়েছে এবং তারের প্রস্থ 0.5um থেকে 0.25um, 0.25mm থেকে 0.25mm পর্যন্ত হ্রাস পেয়েছে।১৮ ইউম অথবা এমনকি ০.13um, 99.995% এর পূর্ববর্তী লক্ষ্য বিশুদ্ধতা 0.35umIC এর প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে, এবং 0.18um লাইনের প্রস্তুতির জন্য 99.999% বা এমনকি 99.9999% লক্ষ্যের বিশুদ্ধতার প্রয়োজন হয়।

(২) অশুচিতার পরিমাণ

টার্গেট সলিড এবং অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্পের মধ্যে অশুচিতাগুলি সঞ্চিত ফিল্মের জন্য দূষণের প্রধান উত্স।বিভিন্ন লক্ষ্যমাত্রা বিভিন্ন অমেধ্য সামগ্রী জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা আছেউদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত খাঁটি অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যমাত্রা আলকালি ধাতু এবং রেডিওএক্টিভ উপাদানগুলির জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

(3) ঘনত্ব

লক্ষ্যবস্তুর কঠিন পদার্থের মধ্যে ছিদ্র হ্রাস এবং স্পটারযুক্ত ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করার জন্য, লক্ষ্যবস্তু সাধারণত একটি উচ্চতর ঘনত্ব থাকতে হবে।লক্ষ্যমাত্রার ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পটারিং হার প্রভাবিত করে না, তবে ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে। লক্ষ্য ঘনত্ব যত বেশি, ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভাল।লক্ষ্যবস্তুর ঘনত্ব এবং শক্তি বৃদ্ধি লক্ষ্যবস্তুকে স্পটারিংয়ের সময় তাপীয় চাপকে আরও ভালভাবে সহ্য করতে দেয়ঘনত্বও লক্ষ্যমাত্রার অন্যতম প্রধান কর্মক্ষমতা সূচক।

(4) শস্যের আকার এবং শস্যের আকারের বন্টন

লক্ষ্য উপাদানটি সাধারণত পলিক্রিস্টালিন হয়, এবং কণার আকার মাইক্রন থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত হতে পারে। একই লক্ষ্য উপাদানটির জন্য,সূক্ষ্ম শস্যযুক্ত টার্গেটের স্পাটারিং রেট মোটা শস্যযুক্ত টার্গেটের চেয়ে দ্রুত; শস্যের আকারের সামান্য পার্থক্য (একরকম বন্টন) সহ লক্ষ্যবস্তুতে স্পটারিংয়ের মাধ্যমে জমা হওয়া ফিল্মের বেধ আরও অভিন্ন।

3উপাদান

(১)খাঁটি টাইটানিয়ামঃ GR1 GR2

(২) টাইটানিয়াম খাদ: Gr5 টাইটানিয়াম, টাইটানিয়াম অ্যালুমিনিয়াম TiAl, টাইটানিয়াম নিকেল TiNi, টাইটানিয়াম ক্রোমিয়াম TiCr, টাইটানিয়াম জিরকনিয়াম TiZr, তামা টাইটানিয়াম TiCu ইত্যাদি

(৩)অন্যান্য উপাদান: জিরকোনিয়াম স্পট্রিং টার্গেট, ক্রোম স্পট্রিং টার্গেট,টংস্টেন স্পট্রিং টার্গেট,রূপা স্পট্রিং টার্গেট ইত্যাদি

4উদ্দেশ্য

এটি ইলেকট্রনিক্স শিল্পে আলংকারিক লেপ, পরিধান-প্রতিরোধী লেপ, সিডি এবং ভিসিডি, পাশাপাশি বিভিন্ন চৌম্বকীয় ডিস্ক লেপগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

টংস্টেন-টাইটানিয়াম (ডাব্লু-টিআই) ফিল্ম এবং টংস্টেন-টাইটানিয়াম (ডাব্লু-টিআই) ভিত্তিক খাদ ফিল্মগুলি অসামান্য বৈশিষ্ট্যগুলির একটি সিরিজ সহ উচ্চ-তাপমাত্রার খাদ ফিল্ম।টংস্টেনের উচ্চ গলনাঙ্ক মত বৈশিষ্ট্য রয়েছে, উচ্চ শক্তি এবং তাপীয় প্রসারণের নিম্ন সহগ। W / Ti খাদ কম প্রতিরোধের সহগ, ভাল তাপ স্থিতিশীলতা এবং অক্সিডেশন প্রতিরোধের আছে।যেমন বিভিন্ন ডিভাইস ধাতু তারের যে একটি পরিবাহী ভূমিকা পালন করে প্রয়োজন, যেমন আল, কিউ, এবং Ag ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত এবং গবেষণা করা হয়েছে। যাইহোক, তারের ধাতু নিজেই সহজে অক্সিডাইজড হয়, পার্শ্ববর্তী পরিবেশের সাথে প্রতিক্রিয়া,এবং ডায়েলক্ট্রিক স্তরের সাথে দুর্বল সংযুক্তি আছেএটি Si এবং SiO2 এর মতো ডিভাইসগুলির সাবস্ট্র্যাটে সহজেই ছড়িয়ে পড়ে এবং এটি কম তাপমাত্রায় ধাতু এবং Si গঠন করবে।ডিভাইসটির পারফরম্যান্সের ব্যাপক অবনতি ঘটায়. W-Ti খাদটি স্থিতিশীল তাপ যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, কম ইলেকট্রন গতিশীলতা, উচ্চ জারা প্রতিরোধের এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতার কারণে তারের বিস্তার বাধা হিসাবে ব্যবহার করা সহজ,বিশেষ করে উচ্চ প্রবাহ এবং উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত .

বিস্তারিত ছবি

কারখানা

প্যাকেজ ও ডেলিভারিঃ

আমাদের যুক্তিসঙ্গত প্যাকেজিং পদ্ধতি ট্রান্সপোর্টের সময় টার্গেট উপাদানগুলির মধ্যে সংঘর্ষ এড়াতে পারে,এবং পণ্যের উপর বাহ্যিক পণ্য প্রভাব প্রতিরোধ করতে পারেন, এবং নিশ্চিত করুন যে পণ্য বিতরণ পরে বিতরণ করা হয়।

---1.সিল করা প্যাকেজিং, তারপর কার্টন বাক্সে বা স্ট্যান্ডার্ড স্ট্যান্ডার্ড plywood কেসে রাখা।

- - - - - - - - - - -গ্রাহকের লোগো সহ একচেটিয়া কাস্টম কার্টন ব্যবহার করে, প্রতিটি পৃথক প্যাকেজিং, ক্রেতাদের সরাসরি বিক্রয় করতে সাহায্য করার জন্য।

--- গ্রাহকের চাহিদা মেনে চলুন

প্রতিটি প্যাকেজ আপনার জন্য তৈরি করা হয়েছে তা নিশ্চিত করুন।আপনি যখন পণ্য পাবেন তখন নিশ্চিত করুন যে এটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়নি।